半导体与光电元件实验室

       本实验室于 91学年度成立，可供教学、研究及产学合作用，主要设 备有Class 1000之黄光无尘室、Class 10000之制程设备室、清洗槽、光 阻涂布机(Spinner)、加温器及烤箱、冷藏器、反应性离子蚀刻机(RIE)、 真空蒸镀机 (Thermal Evaporator)、溅镀机 (Sputter)、高温炉 (Furnace)、曝光对准机(Aligner)、光阻涂布机(Spinner)，制程包含晶 片清洗、光阻涂布、曝光显影、金属薄膜蒸镀、退火、干湿蚀刻、氧化物 成长等等。配合材料之选择，可制作之元件包括：主动发光元件（雷射及 发光二极管）、微波高速元件（HBT HFET）、显示器元件、太阳能电池...等等。

1. 支援教学课程中有关半导体与光电元件技术相关之制作工作
2. 支援校务相关活动。
3. 与产业界建立良好之互动关系。

1. 数码半导体IC制作技术
2. 类比半导体IC制作技术
3. 光电元件IC制作技术
4. 发展半导体制程光电精密定位技术
5. PCB及SIP制作技术
6. 金属质3D制作技术